| 產品型號 | 
VM30/30/60
了解詳情 |
VM42/45/125
了解詳情 |
| 處理箱尺寸(cm) | 300×300×600 | 420×450×1250 |
| 料板數量(pcs) | 18 | 88 |
| 最高溫度(°C) | 1600 | 1600 |
| 使用溫度(°C) | 1550 | 1550 |
| 溫度分布(°C) | 幅值≤6(±3) | 幅值≤6(±3) |
| 極限真空(Pa) | 0.0007 | 0.0007 |
| 電源容量(KVA) | 170 | 410 |
| 使用氣體 | N2,Ar,H2 | N2,Ar,H2 |
| 場地要求(m3) | 4.2×2.6×2.4 | 5×3×3 |
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