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突破sic晶體長厚的關鍵材料

“一次傳質”工藝是采用一次傳質的新熱場,傳質效率提高且基本恒定,降低再結晶影響(避免二次傳質),有效降低了微管或其它關聯晶體缺陷。平衡氣相組分,隔斷微量雜質,調節局部溫度,減少碳包裹等物理性顆粒,在滿足晶體可用的前提下,晶體厚度大幅增加,是解決晶體長厚的核心技術之一。

恒普在2021年,推出的“一次傳質”的新工藝,雖然效果突出,但采用筒形多孔石墨用料多,且大孔隙率的多孔石墨需要依賴進口,急劇增加了晶體生長的成本,大大阻礙了"一次傳質“新工藝的推廣,使sic晶體生長技術無法與國際同步。

為了推動晶體 “長快、長厚,長大”,如何解決多孔石墨的瓶頸?是行業的迫切需求,多孔石墨的孔隙率、孔隙大小、空隙分布、強度、最薄可加工尺寸、蝕刻特性等技術參數都極具挑戰,與工藝匹配更是難點。

恒普突破性的解決了多孔石墨的技術,加速推動“一次傳質”新工藝的使用,使行業能成本可循環、快速、靈活的與國際技術同步發展,解決關鍵材料“進口”依賴,并達到國際領先水平。

多孔石墨實拍圖:

技術特點

  • 孔隙率最高可達65%(國際領先)
  • 空隙分布均勻;
  • 批次穩定性高;
  • 強度高,加工性可以達到≤1mm超薄壁圓筒形狀 (國際領先)。

恒普技術 | 零實驗室,致力于材料的基礎研究和創新方向探索。

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