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產品優勢

■ 水平式

  • 工作溫度:室溫到500℃
  • 壓力控制方式:配重塊、氣缸、絲缸傳動

先進技術

軸徑分離技術

注:單一爐型不一定涉及全部技術,僅供參考,詳情歡迎致電恒普

【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度,提升晶體生長速度,徑向溫度梯度也隨之發生改變,從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加,使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱,達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制,達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離,從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。

工具包

先進材料

恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案

碳化鉭涂層

碳化硅涂層

多孔石墨

保溫氈等工具

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籽晶粘貼工藝是影響晶體生長的關鍵工藝之一,籽晶粘貼的品質將直接影響晶體生長的品質。恒普科技根據籽晶粘貼工藝的特性而研發了專門的輔助設備。其可以有效減少籽晶粘貼過程中產生的各種缺陷,從而提高籽晶粘貼的良率和晶體的最終品質。

籽晶熱壓爐
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